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プラズマナノプロセス科学研究グループ
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プラズマで原子レベルのエッチングやナノ材料づくりに挑む研究室。
AboutAbout the lab
低温プラズマで、原子スケールを加工する。
石川研究室は、
ガスに
プラズマの
プラズマ技術を
Key terms
- エッチング
- 材料の
表面を 化学反応などで 削り、 配線用の 溝や 孔の 形を つくる 加工 - ラジカル
- 反応しやすい
状態の 原子や 分子。 プラズマの 中で 生まれ、 材料の 表面と 反応する - カーボンナノウォール
- 板状の
グラファイトが、 基板の 表面から 垂直に 壁のように 立ち並んだ 炭素の 材料
NewsLab news
博士課程の
学生が、 IPTJC2025 Oral Presentation Competition Award （第1位）を 受賞 学生が、
VASSCAA-12 Special Award （Poster Award）を 受賞 学生が、
IUVSTA-Elsevier Student Awards を 受賞 井上助教が、
ISPlasma2024 The best oral presentation award を 受賞
ResearchResearch themes
低温プラズマ科学を
*Illustrative image自律型ナノプラズマ装置
加工している
*Illustrative image原子1層ずつ削るエッチング
シリコンなどの
*Illustrative imageプラズマでつくるナノ材料
水素原子と
MembersFaculty
石川研究室の
- Professor石川 健治
- Professorノ ヴァン ノン
- Project Professor蕭 世男
- Associate Professor堤 隆嘉
- Project Associate ProfessorCamelia MIRON
- Project Associate Professorグエン ティ トゥイ ガー
- Project Associate ProfessorNikolay BRITUN
- Project Lecturer馬 緻宇
- Project Lecturer橋爪 博司
- Assistant Professor井上 健一
- Project Assistant Professor呉 哲亞
- Project Assistant ProfessorAirah Peraro OSONIO
- Project Assistant ProfessorTrung Nguyen TRAN
- Project Assistant Professor石川 和也
- Project Assistant ProfessorFrancis Amalraj SUSAI
VoicesStudent voices
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- Top image: “Plasma Pencil” Entropi5 / CC BY-SA 3.0 (cropped)
- 自律型ナノプラズマ装置: “Horne Hybrid Reactor Prototype” Ron3000001 / CC BY-SA 4.0 (cropped)
- 原子1
層ずつ 削る エッチング: “Silicon wafer researcher” U.S. Department of Energy / Public domain (cropped) - プラズマで
つくる ナノ材料: “Carbon Nanomaterials” Lengmartin / CC BY-SA 3.0 (cropped) - Related lab (ナノバイオセンシング研究グループ): “Atomic force microscope by Zureks” Zureks / CC BY-SA 3.0 (cropped)
- Related lab (生命エレクトロニクス研究グループ): “Plasma-filaments” The original uploader was Iantresman at English Wikipedia. / CC BY 2.5 (cropped)
- Related lab (機能集積デバイス研究グループ): “Wafer - 4” Windell Oskay / CC BY 2.0 (cropped)
- Related lab (プラズマエレクトロニクス研究グループ): “Bell Jar 35 with Argon Plasma” Diener electronic GmbH + Co KG / CC BY-SA 4.0 (cropped)
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