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超精密加工領域
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原子スケールの精度で表面をつくる、超精密加工の研究室。
AboutAbout the lab
原子スケールの表面創成で、科学の進歩を支える。
超精密加工領域
プラズマ中の
SPring-8
医学や
Key terms
- SPring-8
- 大型放射光施設。
この 研究室は ここの X線で、 作った ミラーや 顕微鏡の 評価実験を している - X線ミラー
- X線を
集める ための 鏡。 この 研究室は 超精密加工の 技術で 作っている - 走査型X線顕微鏡
- 細く
絞った X線を 試料に 当てて 動かし、 場所ごとの 信号から 像を 作る 顕微鏡
NewsLab news
修士課程の
学生が、 関西地方定期学術講演会で ベストプレゼンテーション賞を 受賞 XFELを
使った 10nm分解能の シングルショットイメージング研究が、 プレスリリースで 紹介 X線結晶
光学系を 使った 高精度な XFELパルス幅計測の 研究が、 プレスリリースで 紹介 修士課程の
学生が、 精密工学会秋季大会学術講演会で ベストプレゼンテーション賞を 受賞
ResearchResearch themes
表面を
*Illustrative image原子スケールの表面創成法
表面創成に
*Illustrative image大面積でのサブナノ精度の構造制御
10mmから
*Illustrative image半導体デバイスプロセスの開発
大面積に
*Illustrative imageX線光学素子・光学システムの開発
サブナノメートル精度で
MembersFaculty
超精密加工領域
- Professor佐野 泰久
- Associate Professor山田 純平
- Assistant Professor藤 大雪
VoicesStudent voices
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- Top image: “Optician Polishing Large CXO Mirror Shell At HDOS (illustrations-mirrorFab-Optician Polishing Large CXO Mirror Shell At HDOS - 1-300)” NASA/SAO / Public domain (cropped)
- 原子スケールの
表面創成法: “Stone Flower (Кам’яна квітка)” Яна Сычикова, Сергей Ковачев / CC BY-SA 4.0 (cropped) - 大面積での
サブナノ精度の 構造制御: “Polishing a 4-Meter Mirror (PolishingandGrindingthe4-mTelescopeVI-CC)” NOIRLab/AURA/NSF / CC BY 4.0 (cropped) - 半導体デバイスプロセスの
開発: “Semiconductor clean room” Aileen Devlin/Jefferson Lab from Newport News, USA / Public domain (cropped) - X線光学素子・光学システムの
開発: “XRISM s X-ray mirror assembly” NASA / Public domain (cropped) - Related lab (精密工学研究センター
（ナノ製造科学領域） ): “Plasma Rapid Oxidation Technique for Extending Component Tenabil (KSC-20221102-PH-KLS01 0018)” Kim Shiflett / Public domain (cropped) - Related lab (ナノ表面界面工学領域): “Scanning tunneling microscope-MHS 2237-IMG 3817-white” Rama / CC BY-SA 3.0 fr (cropped)
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- Related lab (物理有機化学領域): “Sumanene-3D-balls” Jynto (talk) / CC0 (cropped)
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