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4个研究室 · 0条学长学姐评价

堤 隆嘉 副教授
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在低温等离子体科学研究中心的等离子体科学部门,堤 隆嘉副教授以等离子体电子学为专长,研究等离子体工艺以及等离子体诊断・测量。 堤副教授也是电子工学专业研究小组“等离子体纳米工艺科学”(低温等离子体科学研究中心・合作讲座)的负责教师。 该小组的研究领域广泛,包括薄膜硅太阳能电池、GaN功率器件、等离子体医疗科学、农业・环境应用等。

Ngo Van Nong 教授
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绿色DX等离子体部门是低温等离子体科学研究中心的研究部门,正在推进等离子体粒子测量的标准化、落地实施和数据积累。 该部门以测量科学与信息学为手段搭建数据分析的基础,并提出要加速与多个领域的合作与融合。 为实现碳中和,该部门致力于构建利用等离子体进行物质转化、实现物质资源循环的流程。 同时,该部门也致力于创造具有新功能的低维材料和纳米微粒材料。

田中 宏昌 教授
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等离子体生物部门是低温等离子体科学研究中心下属的部门,研究低温等离子体在生物领域的应用。 田中 宏昌教授和中村 香江副教授在工学研究生院电子工学专业的页面中,作为“生命电子学”研究小组被介绍。 电子工学专业的页面介绍称,经等离子体照射的溶液被命名为“等离子体活性溶液”,目前已经发现它会对细胞、组织和个体产生各种影响。 成员页面列出的教师研究课题包括等离子体癌症治疗研究,以及以利用等离子体治疗妇科癌症为目标的研究。

石川 健治 教授
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半导体工艺科学部门是低温等离子体科学研究中心的部门之一,研究如何从科学上理解制造半导体器件时所用的等离子体工艺。 该部门利用中心拥有的等离子体气相・表面诊断技术,测量工艺过程中反应原子・分子的密度、能量及时空分布。 以这一理解为基础,该部门的目标是创造出面向下一代半导体器件集成的革新性制造等离子体工艺。
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