名古屋大学 低温等离子体科学研究中心 等离子体科学部门的研究室

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从等离子体的生成与诊断出发，探索其在环境和医疗领域应用的研究室。

在低温等离子体科学研究中心的等离子体科学部门，堤 隆嘉副教授以等离子体电子学为专长，研究等离子体工艺以及等离子体诊断・测量。 堤副教授也是电子工学专业研究小组“等离子体纳米工艺科学”（低温等离子体科学研究中心・合作讲座）的负责教师。 该小组的研究领域广泛，包括薄膜硅太阳能电池、GaN功率器件、等离子体医疗科学、农业・环境应用等。

#等离子体工艺 #等离子体诊断与测量 #等离子体医学