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半导体工艺科学部门
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通过测量等离子体来揭示半导体制造工艺的研究部门。
About关于研究室
测量等离子体，用科学方法研究半导体制造。
半导体工艺科学部门是低温等离子体科学研究中
该部门利用中心拥有的等离子体气相・
以这
术语说明
- 等离子体气相・
表面诊断 - 通过测量来了解等离子体中气体的状态以及
被加工表面状态的技术 - 时
空 分布 - 表示某个量随时
间推移和位置不同而如何变化、 如何扩散分布的情况
Research研究课题
半导体工艺科学部门旨在基于测量来理解使用等离子体的半导体器件制造工序。
Members教师
半导体工艺科学部门的成员由教授、
- 教授石川 健治
- 特任教授唐橋 一浩
- 特任副教授NGUYEN Thi-Thuy-Nga
- 特任讲师馬 緻宇
- 特任助理教授OSONIO Airah Peraro
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Plasma globe with looped filament》 Xyqorophibian／CC BY-SA 4.0（裁剪）
- 半导体
制造等离子体工艺的测量与创造：《Clean room》 Uploaded by Duk 08:45, 16 Feb 2005 (UTC)／公有领域 （裁剪） - 相关研究室
（绿色DX等离子体部门 （Ngo Van Nong）） ：《Coils of the "Ministellarator" experiment at IPP Greifswald》 Siarhei V／CC BY-SA 4.0（裁剪） - 相关研究室
（等离子体科学部门 （堤 隆嘉）） ：《Pegasus Toroidal Experiment ( )》 troop_156_glenview／CC0（裁剪） - 相关研究室
（等离子体生物部门） ：《Laboratory of Dust Plasma Diagnostics》 Stanislav Liubauskas／CC BY 4.0（裁剪）
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