精密工学研究センター（ナノ製造科学領域）

About关于研究室

常識に挑戦する、新しい加工法の開発。

ナノ製造科学領域の山村研究室は、大気圧プラズマや電気化学の反応を使って、材料の表面を加工するプロセスを研究しています。
大気圧プラズマのプロセスは、形をつくるプラズマCVM、表面を仕上げるプラズマ援用研磨、樹脂の接着性を高める表面処理から構成されます。
SiCなど、導電性で硬くてもろい材料の表面を陽極酸化で軟らかくし、軟質の固定砥粒で取り除く研磨にも取り組んでいます。
大阪大学大学院工学研究科の附属精密工学研究センターに置かれた研究室です。

Research研究课题

山村研究室は、新しい物理化学加工プロセスの開発に取り組んでいます。大気圧プラズマや陽極酸化を使って、硬くて加工しにくい材料の表面を整える方法を研究しています。

※示意图

プラズマを使ったナノ製造↗

大気圧プラズマを使う表面創成のプロセスです。プラズマCVMで形をつくり、プラズマ援用研磨で仕上げ、加熱を併用したプラズマ処理で樹脂の接着性を高めます。

※示意图

電気化学を使ったナノ製造↗

SiCなどの導電性で硬くてもろい材料の表面を、陽極酸化で軟らかく改質します。その層を軟質の固定砥粒でダメージなく取り除く、スラリーを使わない研磨を目指しています。

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