超精密加工领域研究室

About关于研究室

以原子尺度表面制造，支撑科学的进步。

超精密加工领域（佐野研究室）研究以原子尺度的精度制造表面的加工方法，以及利用这些方法制作的X射线装置。
该研究室利用等离子体中的活性分子和溶液中的活性纳米粒子，以0.5纳米误差的精度加工形状，已确立了对X射线反射镜和半导体基板表面进行精加工的技术。
通过与SPring-8（理化学研究所）光学组的合作研究，该研究室正在推进超高分辨率扫描型X射线显微镜和X射线微型CT的开发。
该研究室还与医学、生物学、药物研发科学等领域合作，已开始对新开发的X射线设备进行应用研究。

Research研究课题

探索可用于制造表面的物理和化学现象，在原子和分子层面进行精密控制，开发原子尺度表面制造方法。同时也开发用于研究加工后表面的结构和性质的方法，并将应用拓展到X射线光学元件、半导体器件工艺，以及与医学、生物学等领域的合作。

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原子尺度表面制造方法↗

探寻可用于表面制造的现象，并将其发展为新的表面工艺。通过模拟和超净室中的实验详细理解这些现象，目标是确立精密的控制技术。

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大面积亚纳米精度的结构控制↗

开发在10mm至1000mm尺度的表面上，以亚纳米精度制作任意形状的技术。通过精密控制原子尺度上产生的现象，目标是实现具体的制造。

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半导体器件工艺的开发↗

利用大面积纳米尺度的结构控制技术，研究和开发下一代超薄膜SOI的形成方法以及半导体器件的制造工艺。

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X射线光学元件・光学系统的开发↗

利用以亚纳米精度控制大面积结构的技术制作X射线光学元件，并构建X射线光学系统。通过与SPring-8（理化学研究所）光学组的合作研究，开发超高分辨率扫描型X射线显微镜和X射线微型CT。

Voices学长学姐的评价

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