纳米表面界面工学领域

About关于研究室

引领并开拓基于表面科学的“制造”领域

纳米表面界面工学领域（有馬研究室）致力于在原子・分子层面理解并控制固体与液体、固体与气体界面处的相互作用。
该研究室利用能够观察原子排列的显微镜、探测表面极薄层的光谱分析以及基于量子力学的模拟，开展超精密表面测量。
同时还在推进利用新型刻蚀现象创制高性能半导体纳米材料，以及开发新的表面工艺。
该研究室于2023年4月设立，是较新的研究室，目标是为下一代绿色器件的创制等制造领域的未来做出贡献。

Research研究课题

通过在原子・分子层面理解并控制固体的表面和界面，致力于实现生产技术的高度化。将实验与基于量子力学的模拟相结合，开展高性能半导体纳米材料的创制和新表面工艺的开发。

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Si原子层纳米带的创制↗

尺寸缩小到纳米量级的物质，会表现出大块物质中看不到的性质。该研究室正在挑战开发新方法，利用多种固液界面工艺制备宽度和厚度均可控的Si原子层纳米带。

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表面创成工艺的原子级评价↗

在超洁净环境中精密加工完成的半导体表面，通过具有原子级分辨率的显微镜进行可视化。超精密加工、湿法清洗、成膜等实际工艺的性能，都可以在原子尺度上进行评价。

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纳米碳与刻蚀功能↗

此前致力于在经超平坦抛光的碳化硅表面结合等离子体处理，形成凹坑缺陷少、厚度为原子层的石墨烯。最近则致力于利用纳米碳腐蚀作用的表面创成工艺。

※示意图

无需机械作用的深沟槽・深孔加工↗

该研究室关注利用贵金属的催化作用，在溶液中的半导体表面形成深沟槽和深孔的方法。以埋入沟槽和孔底部的异种元素作为垂直方向的标记，致力于三维纳米结构底部表面的结构评价。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

对于接受采访的学生，无论内容如何，我们可能会赠送谢礼（价值1,000日元的礼品）。