ナノ・マイクロシステム工学

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シリコンで目に見えないほど小さなセンサや機械をつくる研究室。

MEMS微细加工传感器

About关于研究室

小さな機械でナノの世界を測る。

ナノ・マイクロシステム工学研究室は、シリコンを中心とした微細加工で、とても小さなセンサやアクチュエータ（MEMS）をつくる研究をしています。
加速度センサや角速度センサ、光を操る小さな鏡などのデバイスを研究開発しています。
MEMSのデバイスを使って、ナノスケールの物理現象を測る技術の開発にも取り組んでいます。
小さな機械が振動や衝撃、温度の変化の中でも安定して動くための、信頼性の研究も行っています。