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纳米·微系统工学研究室
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用硅制造肉眼看不见的微小传感器和机械的研究室。

About关于研究室
用微小机械测量纳米世界。
纳米・微系统工学研究室以硅
该研究室研发加速度传感器、
该研究室还致力于利用MEMS器件测量纳米尺度物理现象的技术开发。
该研究室也研究可靠性,
术语说明
- MEMS
- 利用半导体微细加工技术制造的、
带有传感器和可动部件的极小机械 (微机电系统) - 执行器
- 利用电能等能量使物体运动的装置
- 纳米间隙
- 纳米
(十亿分之一米) 量级的极窄缝隙
News研究室公告
查看更多 ↗Research研究课题
该研究室利用硅的微细加工技术,
※示意图传感器与执行器的研发
该研究室以电
※示意图硅的微细加工技术
该研究室致力于以硅
※示意图用微小机械测量纳米世界
MEMS传感器能够高精度地测量极微小的力和位移。
※示意图让微小机械长期稳定工作
MEMS被用于交通工具和便携设备,
Members教师
- 教授土屋 智由
- 副教授廣谷 潤
- 助理教授霜降 真希
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生,
学长学姐的评价
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关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图,
- 顶部图片:《A MicroVision MEMS mirror》 S2upidOnReddit/CC BY-SA 4.0(裁剪)
- 传感器与执行器的研发:《FreescaleSemiconductor 3-Axis-MEMS-Accelerometer MMA8452Q 10953-01b》 SparkFun/CC BY 2.0(裁剪)
- 硅的微细加工技术:《Photolithography lab in the LCN cleanroom》 University College London Faculty of Mathematical & Physical Sciences/CC BY 2.0(裁剪)
- 用微小机械测量纳米世界:《AFM (used) cantilever in Scanning Electron Microscope, magnification 3000x》 AFM_(used)_cantilever_in_Scanning_Electron_Microscope,_magnification_3000x.GIF: SecretDisc derivative work: Materialscientist (talk)/CC BY-SA 3.0(裁剪)
- 让微小机械长期稳定
工作:《ИХ термостабилизированный электромеханический фильтр, московский НИИ радиосвязи 1990 (05)》 155LA3/CC BY 4.0(裁剪) - 相关研究室
(マイクロ加工システム) :《Danos Cristalográficos 5》 Hebert Folli/CC BY-SA 4.0(裁剪) - 相关研究室
(固体力学) :《Transmission electron microscope (Morgagni 268D) 2pl》 Pleple2000/CC BY-SA 3.0(裁剪) - 相关研究室
(機械機能要素工学) :《Ball-bearing-numbered》 Niabot/CC BY-SA 3.0(裁剪) - 相关研究室
(熱物理工学) :《3D Turbulence Infinitesimal Fluid Element Stretching Orientation Map》 Terry Brannigan/CC BY 4.0(裁剪)
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