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プラズマエレクトロニクス研究グループ
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低温プラズマをつくり、測り、半導体や材料づくりに生かす研究室。
About关于研究室
低温プラズマ × 計測 ×材料プロセス
内田・鈴木研究室は、
放電や
画像計測や
半導体の
术语说明
- 低温プラズマ
- 電子や
イオンを 含む 電離した気体の うち、 気体全体の 温度が 低い もの。 半導体の 加工などに 使われる - スパッタ成膜
- プラズマ中の
イオンを 材料に ぶつけ、 はじき出された 原子を 基板に 積もらせて 薄い 膜を つくる 方法 - 高アスペクト比構造
- 幅に
比べて 深さや 高さが ずっと 大きい、 細長い 溝や 穴などの 構造
Research研究课题
低温プラズマの
※示意图スパッタ成膜でナノ構造の膜をつくる
スパッタ成膜
※示意图画像でプラズマを立体的に見る
いく
※示意图細く深い構造の中の粒子の動き
半導体の
Members教师
- 教授内田 儀一郎
- 副教授鈴木 陽香
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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学长学姐的评价会回答这些问题
- 这个研究室的推荐点是什么?
- 进入后才知道的事情是什么?
- 氛围和老师的性格如何?
- 推荐给什么样的学生?
- 毕业后的去向?
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エネルギー制御工学本页信息由LabLog运营团队根据研究室的公开信息和采访整理。
关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Bell Jar 35 with Argon Plasma》 Diener electronic GmbH + Co KG／CC BY-SA 4.0（裁剪）
- スパッタ成膜で
ナノ構造の 膜を つくる ：《Princip naprašování》 Vítězslav Lamač／CC BY-SA 4.0（裁剪） - 画像で
プラズマを 立体的に 見る ：《Glow discharge regions》 Derived file: Chetvorno Original file: Jannis Andrija Schnitzer／CC BY-SA 2.0（裁剪） - 細く
深い 構造の 中の 粒子の 動き：《Minimal Fab exhibit at Tsukuba Science Square 7》 Syced／CC0（裁剪） - 相关研究室
（生命エレクトロニクス研究グループ） ：《Plasma-filaments》 The original uploader was Iantresman at English Wikipedia.／CC BY 2.5（裁剪） - 相关研究室
（プラズマエネルギー工学研究グループ） ：《TFTR 1989》 Princeton Plasma Physics Laboratory／CC BY 3.0（裁剪） - 相关研究室
（プラズマナノプロセス科学研究グループ） ：《Plasma Pencil》 Entropi5／CC BY-SA 3.0（裁剪） - 相关研究室
（エネルギー制御工学 （S） 研究グループ） ：《Silicon heterojunction solar cell》 Radiotrefoil／CC BY-SA 4.0（裁剪）
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