等离子体工学研究室

About关于研究室

以等离子体工学，服务未来社会。

等离子体工学研究室研究使气体电离而成的等离子体与材料之间的相互作用，致力于开创下一代等离子体工艺。
等离子体是一项基础性技术，应用广泛，从半导体制造等先进制造业，到环境和农业领域都有使用。
在半导体领域，该研究室将等离子体测量、材料分析与数值模拟相结合，致力于提升支撑AI芯片等先进器件制造的工艺水平。
另一个支柱是等离子体农业，研究向种子照射等离子体以促进发芽和生长，从而提高收获量。

Research研究课题

该研究室以等离子体工学为基础，致力于理解等离子体与材料的相互作用，并开创下一代等离子体工艺。研究范围从支撑半导体制造的先进工艺，到培育作物的等离子体农业，涵盖从基础科学到社会应用的广阔领域。

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用等离子体培育种子↗

向种子照射等离子体，可以促进发芽并提高收获量。研究还发现，ABA/GA的激素平衡以及DNA甲基化也会随之发生变化。

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用等离子体制造氮肥↗

等离子体可以通过化学反应制造氮肥。该研究室按照先控制等离子体周围的压力、再控制电子温度的思路来开展这种固氮研究。

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低温制备碳薄膜↗

利用等离子体CVD，可以通过适用于半导体产业的低温工艺，制备使用纳米颗粒复合材料的类金刚石碳（DLC）膜。

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用AI与物理设计工艺↗

首先精确测量等离子体以理解其物理机制，阐明材料与等离子体的相互作用。再将AI与以往等离子体・材料科学的知识融合，构建可预测的工艺设计。

Voices学长学姐的评价

根据所属学生的回答整理。评价基于学生个人经历，不代表研究室官方观点。

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