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塚本 研究室
MEMSやマイクロ・ナノ技術を研究開発する研究室。

About研究室について
物理空間と情報空間を繋ぐMEMS。
塚本研究室は、
この
MEMSは
この
用語の説明
- MEMS
- 半導体の
微細加工技術で つくる、 とても 小さな センサや アクチュエータ - アクチュエータ
- 電気などの
エネルギーを 受けて、 物を 動かす部品
Research研究テーマ
この
Members教員
スマートシステム集積学分野の
- 准教授塚本 貴城
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