田中(秀)・VERGARA・GUO 研究室

About研究室について

MEMSは、人と機械をつなぐデバイス。

田中(秀)研究室は、半導体の微細加工でつくるセンサやアクチュエータ「MEMS」を研究しています。
LSIが機械の頭脳だとすると、MEMSは感覚器などにあたり、人と機械とをつなぐデバイスともいえます。
MEMSは圧力センサ、加速度センサ、ジャイロセンサ、マイクロフォンなどとして世の中で広く使われ、スマートフォンや自動車にも組み込まれています。
田中(秀)研究室は産学連携研究に特に力を入れていて、多くの企業と共同研究を進めています。

Research研究テーマ

ロボット制御、高度情報通信、健康、安全、省エネルギーなどに貢献するマイクロ・ナノシステムの研究開発に取り組んでいます。研究室の中心となる技術は、MEMS、弾性波素子、集積化パッケージング技術です。

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これまでに開発したデバイス↗

圧力センサ、ジャイロセンサ、弾性波フィルタ、マイクロバルブ、光スキャナ、集積化バイオセンサなど、様々なデバイスをこれまでに研究開発し、活発な産学連携によって多くの技術を実用化してきました。

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MEMSの高度化と多様化↗

機能性材料を利用したMEMS、集積化回路と一体化したMEMS、ナノテクノロジーによるMEMS、新しいバイオマイクロデバイス、それらのシステム化などの研究開発に取り組んでいます。

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装置・材料・システムの開発↗

最先端のMEMSの試作開発だけでなく、そのための装置開発や材料開発、MEMSを用いたシステムの開発も行っています。

Voices先輩の声

評価・クチコミは、在籍している（していた）学生個人の経験に基づくもので、研究室の公式見解ではありません。クチコミの有無や件数は、研究室の評価を表すものではありません。

インタビューに協力いただいた学生に、内容にかかわらず謝礼（1,000円分のギフト）をお渡しすることがあります。