プラズマ工学研究室

About研究室について

プラズマの力で、薄膜と微粒子を操る。

プラズマ工学研究室は、太陽電池産業の重要技術であるプラズマプロセスをはじめ、微粒子プラズマとその応用、プラズマ異方性CVDの研究を中心に行っています。
太陽電池用の薄膜、ナノ粒子を使った次世代の太陽電池材料、LSI用の絶縁膜などの開発に取り組んでいます。
核融合実験炉の中で発生する微粒子（ダスト）の発生・成長のしくみの解明や、プラズマを使った植物の成長促進も研究しています。

Research研究テーマ

この研究室は、革新的プラズマの創成を目指し、プラズマを使った薄膜づくりやナノ粒子の制御、植物の成長促進などを研究しています。主な研究課題は、プラズマ中の反応制御による高品質・高スループットなプロセス技術の開発、プラズマを用いた機能性ナノブロックの作製と応用、プラズマと表面の相互作用の解明、プラズマ農業の創成です。

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高品質な半導体・炭素薄膜づくり↗

不純物の少ない薄膜をつくれるプラズマプロセスの基礎研究と、製造技術の開発に取り組んでいます。関連して、プラズマを使った計測技術や、プラズマで発生するナノ粒子を使ったナノ構造デバイスの創製も行っています。

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植物を対象にしたプラズマのバイオ応用↗

プラズマで生じる化学的に活性な分子を使い、植物の成長が促進される仕組みの解明と農業への応用を検討しています。種子に短時間プラズマを当てると成長が促進されることを見いだしています。

Voices先輩の声

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