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原子層プロセス科学研究室
原子層の薄膜・表面反応とデバイスの劣化を探る研究室。

About研究室について
原子層の反応と劣化を、科学する。
原子層プロセス科学研究室は、
研究室の
今後さらに
研究室の
用語の説明
- トランジスタ
- 半導体で
できた 電子回路の 基本部品。 スマートフォンの 中に 数多く 搭載されている - 活性種
- プラズマの
中に 多様に 存在し、 薄膜を 低温で つくる 反応の きっかけに なる 粒子 - 走査プローブ顕微鏡
- 表面を
原子レベルで 観察するのに 使う 顕微鏡の 一種
Research研究テーマ
この
※イメージ画像ラジカル励起原子層プロセス科学
活性種に
※イメージ画像原子層での劣化の可視化
ナノスケールの
Members教員
- 教授近藤 博基
Voices先輩の声
評価・クチコミは、
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先輩の
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- この
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画像について
トップと
- トップの
画像:「Filling with hazardous reagents for the atomic layer growth process」 R Ashurov/CC BY 4.0(トリミング) - ラジカル励起原子層プロセス科学:「Aomic-layer-deposition-system」 Center for Integrated Nanotechnologies - Los Alamos National Laboratory/パブリックドメイン
(トリミング) - 原子層での
劣化の 可視化:「Three monolayer concepts relevant to atomic layer deposition」 Riikka Puurunen/CC BY 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (量子デバイス工学研究室) :「Gold Cryostat 8K-4」 Onri Jay Benally/CC BY-SA 2.0(トリミング) - 関連する
研究室 (電子材料研究室) :「Photonics chip 1」 Tal b2/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (無機材料×深紫外レーザープロセス研究室) :「Metal Oxide TFT Cross Section」 NoAppliedVoltage/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (循環型集積フォトニクス研究室) :「Inkjet printer with covers removed」 Snewkirk7953/CC BY-SA 3.0(トリミング)
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