超精密加工領域

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原子スケールの精度で表面をつくる、超精密加工の研究室。

原子尺度表面制造X射线反射镜超精密加工

About关于研究室

原子スケールの表面創成で、科学の進歩を支える。

超精密加工領域（佐野研究室）は、原子スケールの精度で表面をつくる加工法と、それを使ったX線の装置を研究しています。
プラズマ中の活性分子や溶液中の活性ナノ粒子を使い、誤差0.5ナノメートルの精度で形をつくり、X線ミラーや半導体基板の表面を仕上げる技術を確立しています。
SPring-8（理化学研究所）のオプティクスグループとの共同研究で、超高分解能の走査型X線顕微鏡やX線マイクロCTの開発を進めています。
医学や生物学、創薬科学などの分野と連携し、新しく開発したX線の機器の応用研究も始めています。