機能材料領域

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大気圧プラズマの成膜技術を開発する研究室。

大气压等离子体成膜技术新型功能器件

About关于研究室

プラズマ成膜から、新機能デバイスへ。

機能材料領域は、大気圧・超高周波プラズマを使った成膜技術の開発と、その新しいデバイスへの応用を研究しています。
プラズマの物理的・化学的な性質を活かして、低温・高速・高品質・エコクリーンな成膜を目指しています。
応用先として、高性能太陽電池、薄膜トランジスタ、高感度センサなどの新機能デバイスを挙げています。
研究室のサイトでは「安武研究室」の名前で紹介されています。