ナノ表面界面工学領域

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半導体の表面を原子や分子のレベルで探る研究室。

半导体表面刻蚀第一性原理计算

About关于研究室

表面科学に基づく“ものづくり”分野の先導と開拓

ナノ表面界面工学領域（有馬研究室）は、固体と液体、固体と気体の界面での相互作用を、原子・分子のレベルで理解し、制御することを研究しています。
原子の並びが見える顕微鏡や、表面のごく薄い層を調べる分光分析、量子力学にもとづくシミュレーションを使い、超精密な表面計測に取り組んでいます。
新しいエッチング現象を生かした高性能な半導体ナノ材料の創出や、新しい表面プロセスの開発も進めています。
2023年4月に開設された比較的新しい研究室で、次世代グリーンデバイスの創製など、ものづくり分野の未来への貢献を目指しています。