集成电子器件研究室

About关于研究室

培育纳米线，操控电子与光

集成电子器件研究室研究利用金属有机气相外延（MOVPE）法对III-V族化合物半导体进行选择性生长和纳米线生长。
从培育新材料开始，到三维加工的工艺技术、器件应用以及集成技术，该研究室一以贯之地开展研究。
该研究室通过半导体纳米线的异质结构控制电子和光的行为，目标是实现高性能、低功耗的开关电路，以及高性能光器件的集成化。
该研究室是量子集成电子学研究中心下属的研究室之一。

Research研究课题

该研究室以利用金属有机气相外延（MOVPE）法对III-V族化合物半导体进行选择性生长和纳米线生长为核心，综合研究从新材料的晶体生长、三维加工工艺、器件应用到集成技术的全过程。通过纳米线的异质结构控制电子和光的行为，目标是将其应用于集成化器件。

※示意图

纳米线的晶体生长↗

利用金属有机气相外延（MOVPE）法，开展只在指定位置生长III-V族化合物半导体的选择性生长，以及纳米线的生长研究。制备新材料是研究的出发点。

※示意图

纳米线器件工艺应用↗

研究对所培育的纳米线进行三维加工的工艺技术，以及其在器件中的应用。目标是应用于高性能、低功耗的开关电路和高性能的光器件。

※示意图

下一代量子集成系统・光子学↗

通过半导体纳米线的异质结构控制电子和光的行为，打造集成化的应用。目前致力于下一代光子学纳米光源、显示器光源以及三维量子集成电路。

Voices学长学姐的评价

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