功能性无机材料×准分子激光研究室

About关于研究室

利用紫外激光的新型半导体制造研究。

薮田研究室研究利用紫外激光的新型半导体器件制造工艺，以及以氧化物为主的新型半导体材料和电介质材料。
该研究室使用准分子激光这一能发出强力紫外脉冲光的装置，致力于开发通过紫外光照射改变半导体材料特性、或形成半导体薄膜的制造工艺。
此外，还开展在低温工艺下即可显示出优异半导体特性的氧化物半导体的物性研究与器件开发，以及电介质材料、压电材料、铁电材料的物性研究与器件应用开发。
在研究室的网站上，该研究室以“薮田研究室”之名介绍。

Research研究课题

薮田研究室研究利用紫外激光的新型半导体器件制造工艺，以及以氧化物为主的新型半导体材料和电介质材料。在推进开发对未来社会有用的新型半导体器件和材料的过程中，以培养能够为产业做出贡献的人才为目标。

※示意图

利用深紫外激光的半导体制造↗

通过准分子激光的紫外光照射，开发改变半导体材料特性、或形成器件所需半导体薄膜的制造工艺。通过与激光制造企业的合作研究，将用于光刻工序的高性能激光用于另一种新工艺技术的研发。

※示意图

氧化物半导体・电介质材料的研究↗

开展在低温工艺下即可显示出优异半导体特性的氧化物半导体（IGZO等）的物性研究和器件开发，并研究在同一元件上同时使用n型和p型氧化物半导体的互补型氧化物半导体晶体管等。同时也开展用于栅极绝缘膜和电容膜的电介质材料，以及用于超声波元件等的压电材料、铁电材料的物性研究与器件应用开发。

Voices学长学姐的评价

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