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原子层工艺科学研究室
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探究半导体原子层中的反应与劣化的研究室。
About关于研究室
解读原子层的反应与劣化。
原子层工艺科学研究室以半导体中的微细晶体管为对象，
智能手机
研究发现，
在该研究室的网站上，
术语说明
- 晶体管
- 对电信号进行开关或放大的半导体元件。
智能手机 中也有使用 - 自由基
- 处于易反应状态的原子或分子。
是等离子体中产生的活性物种之一 - 扫描探针显微镜
- 用尖细的探针在样品
表面扫描， 从而研究原子级别的形貌和性质的显微镜
Research研究课题
该研究室致力于器件与工艺的科学研究，
※示意图由自由基激发的原子层工艺
对于数纳米尺寸的晶体管，
※示意图器件可靠性物理
在纳米尺度的半导体器件中，
Members教师
- 教授近藤 博基
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Filaments inside a plasma tube》 Bravemimoza／CC BY 4.0（裁剪）
- 由自由基激发的原子层工艺：《Plasma-lamp》 Luc Viatour／CC BY-SA 3.0（裁剪）
- 器件可靠性物理：《Integrated Passive Device solution versus Surface Mount Device (SMD) solution》 STMicroelectronics／CC BY-SA 4.0（裁剪）
- 相关研究室
（等离子体工程研究室） ：《FreshFrozenPlasma》 DiverDave／CC BY-SA 3.0（裁剪） - 相关研究室
（电子自旋物性工学研究室） ：《Magnetic Semiconductor ( )》 National Institute of Standards and Technology／公有领域 （裁剪） - 相关研究室
（量子器件工程研究室） ：《DoubleQuantumDot》 Vitaly Golovach／公有领域 （裁剪） - 相关研究室
（构成电子学研究室） ：《Neuromorphic Nanowire Network》 DrHughManning／CC BY-SA 4.0（裁剪）
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