等离子体工程研究室

About关于研究室

以等离子体之力，操控薄膜与微粒。

等离子体工程研究室以太阳能电池产业的关键技术——等离子体工艺为首，主要开展微粒等离子体及其应用、等离子体各向异性CVD的研究。
该研究室致力于开发太阳能电池用薄膜、利用纳米粒子的下一代太阳能电池材料，以及LSI用绝缘膜等。
此外，还研究核聚变实验堆中产生的微粒（尘埃）的生成与生长机理的阐明，以及利用等离子体促进植物生长。

Research研究课题

该研究室以创造革新性的等离子体为目标，研究利用等离子体制备薄膜、控制纳米粒子以及促进植物生长等。主要研究课题包括：通过控制等离子体中的反应来开发高品质、高通量的工艺技术；利用等离子体制备功能性纳米构件并探索其应用；阐明等离子体与表面的相互作用；开创等离子体农业。

※示意图

高品质半导体・碳薄膜的制备↗

该研究室致力于可制备低杂质薄膜的等离子体工艺的基础研究及制造技术的开发。与此相关，还开展利用等离子体的测量技术，以及利用等离子体中产生的纳米粒子创制纳米结构器件的研究。

※示意图

以植物为对象的等离子体生物应用↗

该研究室利用等离子体产生的化学活性分子，探讨促进植物生长的机理的阐明及其在农业中的应用。已经发现，对种子进行短时间的等离子体照射可以促进其生长。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

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