名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 半導体プロセス科学部門の研究室

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プラズマを計測して半導体の製造工程を解き明かす研究部門。

半導体プロセス科学部門は、低温プラズマ科学研究センターの部門の1つで、半導体デバイスを作るときのプラズマプロセスを、科学的に理解することを研究しています。センターが持つプラズマ気相・表面診断技術を使い、プロセス中の反応原子・分子の密度、エネルギー、時空間分布を計測します。その理解をもとに、次世代半導体デバイス・インテグレーションのための、革新的な製造プラズマプロセスを生み出すことを目指しています。

#プラズマプロセス #プラズマ気相・表面診断 #次世代半導体デバイス