半導体プロセス科学部門

About研究室について

プラズマを計測して、半導体づくりを科学する。

半導体プロセス科学部門は、低温プラズマ科学研究センターの部門の1つで、半導体デバイスを作るときのプラズマプロセスを、科学的に理解することを研究しています。
センターが持つプラズマ気相・表面診断技術を使い、プロセス中の反応原子・分子の密度、エネルギー、時空間分布を計測します。
その理解をもとに、次世代半導体デバイス・インテグレーションのための、革新的な製造プラズマプロセスを生み出すことを目指しています。

Members教員

半導体プロセス科学部門のメンバーは、教授、特任教授、特任准教授、特任講師、特任助教で構成されています。2026年度時点

• 教授石川 健治
• 特任教授唐橋 一浩
• 特任准教授NGUYEN Thi-Thuy-Nga
• 特任講師馬 緻宇
• 特任助教OSONIO Airah Peraro

Related半導体プロセス科学部門に近い研究室

グリーンDXプラズマ部門（Ngo Van Nong）低温プラズマ科学研究センター グリーンDXプラズマ部門名古屋大学低温プラズマ科学研究センター（cLPS）は、低温プラズマ科学を深化させ、学際融合により新たな価値を創造すること…プラズマ科学部門（堤 隆嘉）低温プラズマ科学研究センター プラズマ科学部門名古屋大学低温プラズマ科学研究センター（cLPS）は、低温プラズマ科学を深化させ、学際融合により新たな価値を創造すること…プラズマバイオ部門低温プラズマ科学研究センター プラズマバイオ部門名古屋大学低温プラズマ科学研究センター（cLPS）は、低温プラズマ科学を深化させ、学際融合により新たな価値を創造すること…