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名古屋大学 低温プラズマ科学研究センターの研究室

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名古屋大学の学部 ›

• グリーンDXプラズマ部門1
• プラズマバイオ部門1
• プラズマ科学部門1
• 半導体プロセス科学部門1

プラズマ科学部門（堤 隆嘉）

堤 隆嘉

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プラズマの生成・診断から環境・医療への応用を探る研究室。

低温プラズマ科学研究センターのプラズマ科学部門では、堤 隆嘉准教授がプラズマエレクトロニクスを専門に、プラズマプロセスとプラズマ診断・計測を研究しています。堤准教授は、電子工学専攻の研究グループ「プラズマナノプロセス科学」（低温プラズマ科学研究センター・協力講座）の担当教員でもあります。このグループの研究分野は、薄膜シリコン太陽電池、GaNパワーデバイス、プラズマ医療科学、農業・環境応用など幅広いです。

#プラズマプロセス #プラズマ診断・計測 #プラズマ医療科学

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グリーンDXプラズマ部門（Ngo Van Nong）

Ngo Van Nong

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プラズマの計測とデータ解析から物質変換と新材料を目指す部門。

グリーンDXプラズマ部門は、低温プラズマ科学研究センターの研究部門で、プラズマ粒子計測の規格化・実装・データ集積を進めています。計測科学とインフォマティクスを使ってデータ解析の基盤をつくり、多様な分野との連携や融合を加速させることを掲げています。カーボンニュートラルの達成に向けて、プラズマを活用した物質変換による物質資源循環のプロセスづくりを目指しています。あわせて、低次元材料やナノ微粒子の新しい機能をもつ材料の創出も目指しています。

#プラズマ粒子計測 #物質変換 #新機能材料

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プラズマバイオ部門

田中 宏昌

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低温プラズマのバイオ分野への応用を扱う、プラズマバイオの研究部門。

プラズマバイオ部門は、低温プラズマ科学研究センターの部門で、低温プラズマのバイオ分野への応用を扱っています。田中 宏昌教授と中村 香江准教授は、工学研究科の電子工学専攻のページで「生命エレクトロニクス」の研究グループとして紹介されています。電子工学専攻のページでは、プラズマを照射した溶液が「プラズマ活性溶液」と名付けられ、細胞、組織、個体にさまざまな影響を与えることが分かってきたと説明されています。メンバーページでは、教員の研究テーマとして、プラズマがん治療研究や、プラズマによる婦人科癌治療を目指した研究が挙げられています。

#プラズマ医療 #プラズマ農業 #プラズマ分子生物学

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半導体プロセス科学部門

石川 健治

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プラズマを計測して半導体の製造工程を解き明かす研究部門。

半導体プロセス科学部門は、低温プラズマ科学研究センターの部門の1つで、半導体デバイスを作るときのプラズマプロセスを、科学的に理解することを研究しています。センターが持つプラズマ気相・表面診断技術を使い、プロセス中の反応原子・分子の密度、エネルギー、時空間分布を計測します。その理解をもとに、次世代半導体デバイス・インテグレーションのための、革新的な製造プラズマプロセスを生み出すことを目指しています。

#プラズマプロセス #プラズマ気相・表面診断 #次世代半導体デバイス

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