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プラズマナノプロセス科学研究グループ
プラズマで原子レベルのエッチングやナノ材料づくりに挑む研究室。

About研究室について
低温プラズマで、原子スケールを加工する。
石川研究室は、
ガスに
プラズマの
プラズマ技術を
用語の説明
- エッチング
- 材料の
表面を 化学反応などで 削り、 配線用の 溝や 孔の 形を つくる 加工 - ラジカル
- 反応しやすい
状態の 原子や 分子。 プラズマの 中で 生まれ、 材料の 表面と 反応する - カーボンナノウォール
- 板状の
グラファイトが、 基板の 表面から 垂直に 壁のように 立ち並んだ 炭素の 材料
News研究室のお知らせ
博士課程の
学生が、 IPTJC2025 Oral Presentation Competition Award (第1位)を 受賞 学生が、
VASSCAA-12 Special Award (Poster Award)を 受賞 学生が、
IUVSTA-Elsevier Student Awards を 受賞 井上助教が、
ISPlasma2024 The best oral presentation award を 受賞
Research研究テーマ
低温プラズマ科学を
※イメージ画像自律型ナノプラズマ装置
加工している
※イメージ画像原子1層ずつ削るエッチング
シリコンなどの
※イメージ画像プラズマでつくるナノ材料
水素原子と
Members教員
石川研究室の
- 教授石川 健治
- 教授ノ ヴァン ノン
- 特任教授蕭 世男
- 准教授堤 隆嘉
- 特任准教授Camelia MIRON
- 特任准教授グエン ティ トゥイ ガー
- 特任准教授Nikolay BRITUN
- 特任講師馬 緻宇
- 特任講師橋爪 博司
- 助教井上 健一
- 特任助教呉 哲亞
- 特任助教Airah Peraro OSONIO
- 特任助教Trung Nguyen TRAN
- 特任助教石川 和也
- 特任助教Francis Amalraj SUSAI
Voices先輩の声
評価・クチコミは、
インタビューに
先輩の
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先輩の
- この
研究室の 推しポイントは? - 入ってみて
分かった ことは? - 雰囲気や
先生の 人柄は? - どんな
学生に おすすめ? - 卒業後の
進路は?
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画像について
トップと
- トップの
画像:「Plasma Pencil」 Entropi5/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 自律型ナノプラズマ装置:「Horne Hybrid Reactor Prototype」 Ron3000001/CC BY-SA 4.0(トリミング)
- 原子1
層ずつ 削る エッチング:「Silicon wafer researcher」 U.S. Department of Energy/パブリックドメイン (トリミング) - プラズマで
つくる ナノ材料:「Carbon Nanomaterials」 Lengmartin/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (ナノバイオセンシング研究グループ) :「Atomic force microscope by Zureks」 Zureks/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (生命エレクトロニクス研究グループ) :「Plasma-filaments」 The original uploader was Iantresman at English Wikipedia./CC BY 2.5(トリミング) - 関連する
研究室 (機能集積デバイス研究グループ) :「Wafer - 4」 Windell Oskay/CC BY 2.0(トリミング) - 関連する
研究室 (プラズマエレクトロニクス研究グループ) :「Bell Jar 35 with Argon Plasma」 Diener electronic GmbH + Co KG/CC BY-SA 4.0(トリミング)
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