機能集積デバイス研究グループ

About研究室について

新世代ナノ電子デバイスの開発に挑戦！

牧原研究室は、エレクトロニクスの発展を支える半導体の技術を研究しています。
材料科学から、デバイスをつくるプロセスまでを横断して研究を進めています。
シリコン系の量子ドットなどのナノ構造をデバイスに組み込む研究や、トランジスタの高性能化、光と電子を組み合わせたデバイス・新しいメモリの開発に挑んでいます。
海外の研究機関との共同研究や学会発表を通して、自立した技術者・研究者に求められる力を養えます。

Research研究テーマ

半導体技術、特にシリコンナノテクノロジーの高度化に貢献するため、材料科学からプロセスインテグレーション・デバイス化技術にわたる横断的な研究を進めています。シリコン系薄膜トランジスタや微細なMOSトランジスタの高性能化とともに、光・電子融合デバイスや新機能メモリなどの開発に力を入れています。

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ナノ構造を組み込んだデバイス↗

シリコン系のナノ構造をMOSデバイスに融合し、デバイスの機能そのものを進化させる研究をしています。少ない数の電子や光子で働く、知能情報処理デバイスへの応用にも取り組んでいます。

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集積デバイスの材料とプロセス↗

高分解能の分光分析やプローブ顕微鏡を使い、高誘電率のゲート絶縁膜やGAAトランジスタの材料科学を進めています。こうした機能薄膜を、原子層の単位で制御してつくるプロセス技術も開発しています。

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界面の制御と薄膜デバイス↗

新しい動作原理や新材料・プロセスを取り入れたデバイスを目指し、IV族半導体の二次元結晶を中心に研究しています。膜が成長する過程をその場で観測し、精密に制御する技術と、デバイス化の技術を高めています。

Voices先輩の声

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