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プラズマエレクトロニクス研究グループ
低温プラズマをつくり、測り、半導体や材料づくりに生かす研究室。

About研究室について
低温プラズマ × 計測 ×材料プロセス
内田・鈴木研究室は、
放電や
画像計測や
半導体の
用語の説明
- 低温プラズマ
- 電子や
イオンを 含む 電離した気体の うち、 気体全体の 温度が 低い もの。 半導体の 加工などに 使われる - スパッタ成膜
- プラズマ中の
イオンを 材料に ぶつけ、 はじき出された 原子を 基板に 積もらせて 薄い 膜を つくる 方法 - 高アスペクト比構造
- 幅に
比べて 深さや 高さが ずっと 大きい、 細長い 溝や 穴などの 構造
Research研究テーマ
低温プラズマの
※イメージ画像スパッタ成膜でナノ構造の膜をつくる
スパッタ成膜
※イメージ画像画像でプラズマを立体的に見る
いく
※イメージ画像細く深い構造の中の粒子の動き
半導体の
Members教員
- 教授内田 儀一郎
- 准教授鈴木 陽香
Voices先輩の声
評価・クチコミは、
インタビューに
先輩の
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先輩の
- この
研究室の 推しポイントは? - 入ってみて
分かった ことは? - 雰囲気や
先生の 人柄は? - どんな
学生に おすすめ? - 卒業後の
進路は?
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エネルギー制御工学この
画像について
トップと
- トップの
画像:「Bell Jar 35 with Argon Plasma」 Diener electronic GmbH + Co KG/CC BY-SA 4.0(トリミング) - スパッタ成膜で
ナノ構造の 膜を つくる :「Princip naprašování」 Vítězslav Lamač/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 画像で
プラズマを 立体的に 見る :「Glow discharge regions」 Derived file: Chetvorno Original file: Jannis Andrija Schnitzer/CC BY-SA 2.0(トリミング) - 細く
深い 構造の 中の 粒子の 動き:「Minimal Fab exhibit at Tsukuba Science Square 7」 Syced/CC0(トリミング) - 関連する
研究室 (生命エレクトロニクス研究グループ) :「Plasma-filaments」 The original uploader was Iantresman at English Wikipedia./CC BY 2.5(トリミング) - 関連する
研究室 (プラズマエネルギー工学研究グループ) :「TFTR 1989」 Princeton Plasma Physics Laboratory/CC BY 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (プラズマナノプロセス科学研究グループ) :「Plasma Pencil」 Entropi5/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (エネルギー制御工学 (S) 研究グループ) :「Silicon heterojunction solar cell」 Radiotrefoil/CC BY-SA 4.0(トリミング)
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