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光・量子プロセス研究開発センター
九州大学の光・量子プロセスの研究開発センター。

About研究室について
光・量子プロセスの研究開発センター。
光・量子プロセス研究開発センターは、
サイトでは、
2024年12月からは、
要素研究部門の
用語の説明
- EUV
- 極端紫外光の
略称。 教員の 論文では、 波長13.5nmの 光源が 扱われている - KrFエキシマレーザー
- エキシマレーザーの
一種。 教員の 論文では、 炭化ケイ素への 不純物添加に 使われている
Research研究テーマ
センターの
Members教員
- 教授薮田 久人
- 教授中村 大輔
- 教授興 雄司
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