プラズマ工学研究室

About研究室について

プラズマ工学で、未来社会のために。

プラズマ工学研究室は、気体を電離させたプラズマと材料の相互作用を調べ、次世代のプラズマプロセスを生み出す研究をしています。
プラズマは、半導体製造をはじめとする先端ものづくりから環境・農業分野まで幅広く使われている基幹技術です。
半導体の分野では、プラズマ計測・材料解析・数値シミュレーションを組み合わせ、AIチップなど先端デバイスの製造を支えるプロセスの高度化を目指しています。
もう一つの柱がプラズマ農業で、種子にプラズマを照射して発芽や成長を促し、収穫量を高める研究に取り組んでいます。

Research研究テーマ

プラズマ工学を基盤に、プラズマと材料の相互作用を理解し、次世代のプラズマプロセスを創り出すことを目指しています。半導体製造を支える先端プロセスから、作物を育てるプラズマ農業まで、基礎科学から社会応用まで広がる研究に取り組んでいます。

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プラズマで種子を育てる↗

プラズマを種子に照射することで、発芽を促し、収穫量を増やすことができます。ABA/GAのホルモンバランスやDNAメチル化が変化することも分かってきました。

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プラズマでつくる窒素肥料↗

プラズマは化学反応によって窒素肥料をつくり出します。プラズマを取り巻く圧力を制御し、続いて電子温度を制御するという道筋で、この窒素固定に取り組んでいます。

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低温でつくる炭素の薄膜↗

プラズマCVDを使うと、半導体産業向けの低温プロセスで、ナノ粒子の複合材料を用いたダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜をつくることができます。

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AIと物理でプロセスを設計↗

まずプラズマを正確に計測して物理を理解し、材料とプラズマの相互作用を解明します。そこにAIとこれまでのプラズマ・材料科学の知見を融合させ、予測できるプロセス設計につなげます。

Voices先輩の声

所属していた学生の回答をもとにまとめています。評価・クチコミは学生個人の経験に基づくもので、研究室の公式見解ではありません。

インタビューに協力いただいた学生に、内容にかかわらず謝礼（1,000円分のギフト）をお渡しすることがあります。