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量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)
電子線や極端紫外光が物質に起こす化学反応を解き明かす研究室。

About研究室について
量子ビームが物質に起こす、化学反応を探る。
量子ビーム物質科学研究分野
半導体製造の
この
研究室の
用語の説明
- 量子ビーム
- この
研究室では、 電子線、 極端紫外光、 レーザー、 放射光、 X線、 ガンマ線、 イオンビームを 指す。 - 極端紫外光
- 電離放射線領域に
ある 波長の 短い光。 EUVとも 呼ばれ、 半導体製造の リソグラフィに 使われる。 - リソグラフィ
- 半導体回路の
超微細な パターンを 作る 加工技術。 - 超臨界状態
- 水では
374℃以上、 22.1MPa以上で 現れ、 圧力に よって 密度が 大きく 変わる 状態。
Research研究テーマ
電子線、
※イメージ画像半導体の微細加工と量子ビーム
半導体の
※イメージ画像凝縮相の極端紫外光化学
極端紫外光領域の
※イメージ画像極限状態でのビーム誘起反応
高温高圧・超臨界状態に
※イメージ画像ナノ粒子・コロイドの放射線化学
ナノ粒子や
Members教員
古澤研究室の
- 教授古澤 孝弘
- 准教授室屋 裕佐
- 助教岡本 一将
- 助教金 羽晴
- 特任教授井谷 俊郎
- 特任准教授Julius Joseph Sudlay Santillan
- 特任准教授野村 英一
- 特任助教伊藤 裕子
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