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量子ビーム物質科学研究分野[産業科学研究所]
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量子ビームが物質に起こす化学反応を解き明かす研究室。

About关于研究室
量子ビームと物質の化学反応を解き明かす。
量子ビーム物質科学研究分野
量子ビームに
得られた
半導体の
术语说明
- 量子ビーム
- 電子線、
極端紫外光、 レーザー、 放射光、 X線、 ガンマ線、 イオンビームなどの 総称。 物質に 当てて 化学反応を 起こさせる - リソグラフィ
- 半導体産業を
支える 超微細加工技術 - レジスト
- リソグラフィ工程で
使う 感光性材料。 その 性能が 半導体の 回路の 精度を 決める - 超臨界状態
- 水では
温度374℃以上、 圧力22.1MPa以上で 現れる 状態。 圧力で 密度が 大きく 変わる
Research研究课题
電離放射線領域に
※示意图半導体大量生産のナノ化学
極端紫外光
※示意图凝縮相の極端紫外光化学
極端紫外光領域の
※示意图極限状態でのビーム誘起反応
高温高圧や
※示意图ナノ粒子・コロイドの放射線化学
ナノ粒子や
Members教师
古澤研究室の
- 教授古澤 孝弘
- 副教授室屋 裕佐
- 助理教授岡本 一将
- 助理教授金 羽晴
- 特任教授井谷 俊郎
- 特任副教授Julius Joseph Sudlay Santillan
- 特任副教授野村 英一
- 特任助理教授伊藤 裕子
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生,
学长学姐的评价
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先端物性工学領域工学部 応用自然科学科先端物性工学領域
励起材料化学研究分野
物理有機化学領域工学部 応用自然科学科私たちは、
精密工学研究センター本页信息由LabLog运营团队根据研究室的公开信息和采访整理。
关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图,
- 顶部图片:《Lithographie EUV》 JB Waldner/CC BY-SA 3.0(裁剪)
- 半導体大量生産の
ナノ化学:《A semiconductor wafer being removed from processing equipment》 YouTube — Purdue Engineering/CC BY 4.0(裁剪) - 凝縮相の
極端紫外光化学:《Skylab Extreme Ultraviolet (XUV) Spectrograph (7016160)》 NASA/MSFC/公有领域 (裁剪) - 極限状態での
ビーム誘起反応:《Supercritical Fluids Reactor》 RHanush/CC BY-SA 4.0(裁剪) - ナノ粒子・
コロイドの 放射線化学:《Gold nanoparticles as indicators》 Valeg96/CC BY-SA 4.0(裁剪) - 相关研究室
(先端物性工学領域) :《MIREA Laboratory Industry 4.0. Digital robotic manufacturing 6》 Нечаева Лилия Александровна/CC BY-SA 4.0(裁剪) - 相关研究室
(励起材料化学研究分野 [産業科学研究所]) :《U.S. Department of Energy - Science - )》 U.S. Department of Energy from United States/公有领域 (裁剪) - 相关研究室
(物理有機化学領域) :《Sumanene-3D-balls》 Jynto (talk)/CC0(裁剪) - 相关研究室
(精密工学研究センター (ナノ製造科学領域)) :《Plasma Rapid Oxidation Technique for Extending Component Tenabil (KSC-20221102-PH-KLS01 0018)》 Kim Shiflett/公有领域 (裁剪)
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