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量子束物质科学研究分野［产业科学研究所］
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阐明量子束引发物质化学反应的研究室。
About关于研究室
阐明量子束与物质的化学反应。
量子束物质科学研究分野
该研究室以阐
基于所获得的认识，
同时也研究半导体微细加工中
术语说明
- 量子束
- 电子束、
极紫外光、 激光、 同步辐射光、 X射线、 伽马射线、 离子束等的总称。 照射到物质上以引 发化学反应 - 光刻
- 支撑半导体产业的超微细加工技术
- 光刻胶
- 光刻工序中
使用的感光材料。 其性能决定半导体电路的精度 - 超临界状态
- 水在温度374℃以上、
压力22.1MPa以上 时出现的状态。 密度会随压 力大幅变化
Research研究课题
处于电离辐射区域的量子束波长较短，
※示意图半导体大规模生产的纳米化学
在以极
※示意图凝聚相的极紫外光化学
极紫外光区域的辐射化学尚未得到开拓，
※示意图极端状态下的束诱导反应
研究处于高温高压、
※示意图纳米粒子・胶体的辐射化学
纳米粒子和胶
Members教师
古澤研究室的成员由教师、
- 教授古澤 孝弘
- 副教授室屋 裕佐
- 助理教授岡本 一将
- 助理教授金 羽晴
- 特任教授井谷 俊郎
- 特任副教授Julius Joseph Sudlay Santillan
- 特任副教授野村 英一
- 特任助理教授伊藤 裕子
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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学长学姐的评价会回答这些问题
- 这个研究室的推荐点是什么?
- 进入后才知道的事情是什么?
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精密工学研究中本页信息由LabLog运营团队根据研究室的公开信息和采访整理。
关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Lithographie EUV》 JB Waldner／CC BY-SA 3.0（裁剪）
- 半导体大规模生产的纳米化学：《A semiconductor wafer being removed from processing equipment》 YouTube — Purdue Engineering／CC BY 4.0（裁剪）
- 凝聚相的极紫外光化学：《Skylab Extreme Ultraviolet (XUV) Spectrograph (7016160)》 NASA/MSFC／公有领域
（裁剪） - 极端状态下的束诱导反应：《Supercritical Fluids Reactor》 RHanush／CC BY-SA 4.0（裁剪）
- 纳米粒子・胶体的辐射化学：《Gold nanoparticles as indicators》 Valeg96／CC BY-SA 4.0（裁剪）
- 相关研究室
（先端物性工学領域） ：《MIREA Laboratory Industry 4.0. Digital robotic manufacturing 6》 Нечаева Лилия Александровна／CC BY-SA 4.0（裁剪） - 相关研究室
（励起材料化学研究分野 [産業科学研究所]） ：《U.S. Department of Energy - Science - )》 U.S. Department of Energy from United States／公有领域 （裁剪） - 相关研究室
（物理有機化学領域） ：《Sumanene-3D-balls》 Jynto (talk)／CC0（裁剪） - 相关研究室
（精密工学研究センター （ナノ製造科学領域）） ：《Plasma Rapid Oxidation Technique for Extending Component Tenabil (KSC-20221102-PH-KLS01 0018)》 Kim Shiflett／公有领域 （裁剪）
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