谷口研究室

About关于研究室

ナノの立体形状をつくり、写し取る。

谷口研究室は、ナノメートルサイズの超微細加工技術を研究しています。
特に、ナノオーダーでの三次元形状をつくる技術に力を入れています。
三次元のナノスタンプ（モールド）を作る技術と、そのスタンプを押して転写するナノインプリントの研究を行っています。
作製には電子ビーム技術やイオンビーム技術を使い、できた金型を樹脂などへ複製しています。

Research研究课题

ナノテクノロジーは高度情報化社会を支える基盤技術です。この研究室は、特に次世代技術として期待される三次元形状の作製に重点を置き、三次元のナノモールドの作製と、それを押して転写するナノインプリント技術、その応用を研究しています。

※示意图

三次元ナノ構造の作製技術↗

加速電圧を変える電子ビーム露光で、最高5nmの深さ分解能を達成しています。100nm以下で深さを変えた三次元ナノモールドを作り、そのパターンを転写して複製できました。

※示意图

ロールナノインプリントの研究↗

モールドをロール状にしたロールナノインプリントを研究しています。レプリカモールドを使った転写や高速転写、モールドの離型性の寿命評価などを行っています。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

对于接受采访的学生，无论内容如何，我们可能会赠送谢礼（价值1,000日元的礼品）。