谷口研究室

About关于研究室

制作纳米级立体形状，并将其转印复制。

该研究室研究纳米尺寸的超微细加工技术。
尤其着力于在纳米量级上制作三维形状的技术。
该研究室研究制作三维纳米印章（模具）的技术，以及将该印章压印并转印的纳米压印技术。
制作时使用电子束技术和离子束技术，并将制成的模具复制到树脂等材料上。

Research研究课题

纳米技术是支撑高度信息化社会的基础技术。该研究室特别着重于被寄予厚望的下一代技术——三维形状的制作，研究三维纳米模具的制作、将其压印转印的纳米压印技术，以及这些技术的应用。

※示意图

三维纳米结构的制作技术↗

通过改变加速电压的电子束曝光，实现了最高5nm的深度分辨率。制作出100nm以下、深度各异的三维纳米模具，并成功转印其图案进行了复制。

※示意图

辊式纳米压印的研究↗

研究将模具做成辊状的辊式纳米压印。开展使用复制模具的转印、高速转印以及模具脱模性的寿命评价等工作。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

对于接受采访的学生，无论内容如何，我们可能会赠送谢礼（价值1,000日元的礼品）。