角嶋研究室

About关于研究室

通过控制功能性界面，打造下一代电子器件。

角嶋研究室研究如何制造高性能、低功耗的半导体器件。
半导体器件一直是利用不同种类材料相互接触所形成的界面的性质来工作的。
该研究室思考如何设计工艺，以最大限度发挥界面本身具有的功能，并通过试制器件加以验证。
研究对象是高效转换电力的功率器件，以及提高转换效率的太阳能电池。

Research研究课题

要建设节能型社会，离不开借助大规模集成电路实现的高效能量控制，而用于此的半导体器件既需要高性能，也需要低功耗。该研究室设计能够实现理想异种材料界面的工艺，并通过试制器件加以验证。

※示意图

GaN功率器件↗

AlGaN/GaN HEMT是有望高效转换电力的器件。该研究室利用界面控制技术，研究可调节阈值电压的栅极绝缘膜材料，以及高可靠性的电极材料。

SiC功率器件↗

碳化硅（SiC）是在社会基础设施所使用的高电压领域中能够高效转换电力的材料。为进一步提高效率和稳定性，该研究室基于界面控制的思路，研究栅极绝缘膜和肖特基电极的材料。

※示意图

纳米线太阳能电池↗

将硅细化到10纳米以下时，量子效应会使带隙变大。该研究室希望利用这一点提高太阳能电池的开路电压，进而提高转换效率，目前正在梳理需要解决的课题。

Voices学长学姐的评价

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