纳米结构控制研究室

About关于研究室

探索极微小的世界与未来的新材料。

纳米结构控制研究室研究纳米电子学、半导体工艺以及栅极绝缘膜技术。
在研究内容页面中，SiO2组被介绍为“梦想。冒险。欢迎来到‘极微小’的世界！”，SiC组被介绍为“直面能源问题的‘未来’新材料”。
在教师的研究者信息中，列出的研究关键词有SiC、Si、SiO2和可靠性。
研究室的网站上也以“山部・蓮沼研究室”的名称进行介绍，但网站上的内容是2017年前后的。

Members教师

纳米结构控制研究室的成员由教师，博士课程后期、博士课程前期及本科（学类）的学生，以及非学位研究生构成。截至2017年

• 副教授蓮沼 隆

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