松本研究室

About关于研究室

試験管やフラスコを用いない先端化学研究。

松本研究室は、真空技術と化学を組み合わせて、固体や液体の薄膜を研究しています。
薄膜は厚さ1μm以下、究極には原子レベルの厚さを持つ材料で、いまのエレクトロニクス産業を支えています。
扱う物質は、無機の電子・磁性・超伝導材料から、有機半導体・液晶、イオン液体まで多岐にわたります。
薄膜をつくる工程や診断する技術を開発し、半導体プロセスや太陽電池、二次電池への応用展開を目指しています。

Research研究课题

真空技術と化学を融合させ、原子レベルの厚さを持つ薄膜をつくる研究に取り組んでいます。薄膜をつくる工程、診断する技術、そこから見つかる物性・機能、そしてデバイスの試作までを扱います。

※示意图

レーザーで薄膜をつくる装置↗

独自に開発したパルスレーザー堆積（PLD）装置では、宇宙空間と同じレベルの真空の中で原料に紫外線レーザーを当て、高融点のセラミックスも一瞬で揮発させて、狙った組成・構造の薄膜を基板の上に原子レベルで形づくります。

※示意图

レーザーによる薄膜合成↗

研究室は無機セラミックスの班と有機液晶・イオン液体の班に分かれています。イオン液体を介した真空蒸着法を提案してペンタセンの単結晶を短い時間で合成し、液晶相を介して大きな有機単結晶薄膜をつくることにも成功しました。

※示意图

真空での分析・診断技術↗

真空技術と組み合わせた新しい分析・診断の技術も開発しています。高温の固液界面をその場で観察できる真空レーザー顕微鏡で、パワー半導体に使われるSiC結晶が溶液から育つときの結晶面のステップが前進する様子をとらえました。

※示意图

材料の機能探索とデバイス試作↗

つくった薄膜の性質を調べ、デバイスを試作します。高温の融液と共存させる特殊な工程で高品質なSiC薄膜をつくってショットキー接合の整流特性を確かめ、リチウムイオン電池の正極材料LiCoO2では、組成を最適化した薄膜で電池特性が向上することを見出しました。

Voices学长学姐的评价

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