松本研究室

About关于研究室

不使用试管和烧瓶的前沿化学研究。

松本研究室将真空技术与化学相结合，研究固体和液体的薄膜。
薄膜是厚度在1μm以下、极限情况下具有原子级厚度的材料，支撑着当今的电子产业。
研究对象涵盖从无机的电子・磁性・超导材料，到有机半导体、液晶、离子液体等多种物质。
该研究室开发薄膜的制备工艺和诊断技术，致力于面向半导体工艺、太阳能电池和二次电池的应用拓展。

Research研究课题

该研究室致力于将真空技术与化学相融合，研究制备具有原子级厚度的薄膜。研究内容涵盖薄膜的制备工艺、诊断技术、由此发现的物性与功能，直至器件的试制。

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用激光制备薄膜的装置↗

在自主研发的脉冲激光沉积（PLD）装置中，于与宇宙空间相当的真空环境下，用紫外激光照射原料，使高熔点的陶瓷也能瞬间挥发，在基板上以原子级精度形成目标组成与结构的薄膜。

※示意图

利用激光合成薄膜↗

该研究室分为无机陶瓷组和有机液晶・离子液体组。研究人员提出了借助离子液体的真空蒸镀法，在短时间内合成了并五苯单晶，还成功借助液晶相制备出大尺寸的有机单晶薄膜。

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真空环境下的分析・诊断技术↗

该研究室还开发与真空技术相结合的新型分析・诊断技术。利用可原位观察高温固液界面的真空激光显微镜，捕捉到了功率半导体所用的SiC晶体从溶液中生长时，晶面台阶向前推进的情形。

※示意图

材料功能探索与器件试制↗

研究所制备薄膜的性质并试制器件。通过与高温熔液共存的特殊工艺制备出高质量的SiC薄膜，并确认了肖特基结的整流特性；在锂离子电池正极材料LiCoO2方面，发现经组成优化的薄膜可使电池性能提升。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

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