田中(秀)・VERGARA・GUO研究室

About关于研究室

MEMS是连接人与机器的器件。

田中(秀)研究室研究利用半导体微细加工制造的传感器和执行器——“MEMS”。
如果说LSI是机器的大脑，那么MEMS就相当于感觉器官等，也可以说是连接人与机器的器件。
MEMS被广泛用作压力传感器、加速度传感器、陀螺仪传感器、麦克风等，并被集成在智能手机和汽车中。
田中(秀)研究室尤其重视产学合作研究，与众多企业开展合作研究。

Research研究课题

致力于研发有助于机器人控制、先进信息通信、健康、安全、节能等领域的微纳系统。研究室的核心技术是MEMS、弹性波器件和集成化封装技术。

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迄今开发的器件↗

迄今已研发了压力传感器、陀螺仪传感器、弹性波滤波器、微阀、光扫描仪、集成化生物传感器等多种器件，并通过积极的产学合作使许多技术得以实用化。

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MEMS的高度化与多样化↗

致力于研发利用功能性材料的MEMS、与集成电路一体化的MEMS、基于纳米技术的MEMS、新型生物微器件，以及这些器件的系统化等。

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装置・材料・系统的开发↗

不仅进行最前沿MEMS的试制开发，还进行为此所需的装置开发和材料开发，以及使用MEMS的系统的开发。

Voices学长学姐的评价

评价基于在读（或曾在读）学生的个人经历，不代表研究室官方观点。评价的有无或数量不代表对研究室的评价。

对于接受采访的学生，无论内容如何，我们可能会赠送谢礼（价值1,000日元的礼品）。