遠藤・大堀研究室

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半導体のナノデバイスで、情報とエネルギーの流れを制御する研究室。

半导体纳米器件原子层工艺绿色纳米技术

About关于研究室

半導体技術で、情報とエネルギーの流れを制御する。

遠藤研究室は、半導体技術で情報やエネルギーの流れを制御することを目指しています。
微細なシリコンナノデバイスに、新しいプロセスや材料、成膜手法、構造を持ち込み、性能の向上と技術の限界の打破に取り組みます。
実際に手を動かす実験の研究室で、装置を組み上げたり手作りしたりすることもあります。
産業技術総合研究所や、台湾の国立陽明交通大学のジョイントラボラトリーを拠点として活用し、海外へ行く機会もあります。