光・量子工艺研究开发中心

About关于研究室

光・量子工艺研究开发中心。

光・量子工艺研究开发中心是附属于九州大学系统信息科学研究院的中心。
网站介绍了EUV项目、Gigaphoton NextGLP合作研究部门，以及KrF准分子激光器的设备和加工实例。
网站介绍称，自2024年12月起，中心进入新体制，由薮田久人教授担任中心主任，中村大輔教授担任副主任。
网站介绍了薮田研究室、中村研究室、白谷研究室、加藤研究室、興研究室、佐道研究室、池田研究室，作为要素研究部门的教师所在的研究室。

Members教师

• 教授薮田 久人
• 教授中村 大輔
• 教授興 雄司

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