精密加工学研究室

About关于研究室

高效率、高精度的加工与测量技术。

精密加工学研究室研究以高效率、高精度的Giga量级加工・测量技术为基础的精密加工。
在机械要素零部件的超精密加工与测量方面，研究内容包括齿轮啮合传递误差的分析、工程表面形貌与粗糙度的测量、微小零件的纳米加工，以及平坦化CMP等。
在利用光的加工与测量方面，开展飞秒激光加工、半导体晶圆表面的非接触光学测量，以及使用荧光纳米探针的纳米颗粒粒径测量。
此外，还开展软齿轮的开发，以及多材料柔顺机构的设计与加工技术的构建及其医疗应用。

Members教师

精密加工学研究室的成员由教师、技术专门职员、秘书，以及博士课程、硕士课程和本科的学生构成。截至2023年

• 教授黒河 周平
• 副教授林 照剛
• 助理教授大澤 啓介

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