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原子层工艺科学研究室
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该研究室探索原子层薄膜、表面反应与器件劣化。
About关于研究室
科学地研究原子层的反应与劣化。
原子层工艺科学研究室以微
据研究室的网站介绍，
为实现今后微细化、
在该研究室的网站上，
术语说明
- 晶体管
- 由半导体
制成的电子电路基本元件。 智能手机 中搭载了大量晶体管 - 活性物种
- 在等离子体中
多种 多样地存在， 是引发低温制备薄膜的反应的粒子 - 扫描探针显微镜
- 用于在原子水平上观察表面的一类显微镜
Research研究课题
该研究室面向微细化、
※示意图自由基激发原子层工艺科学
利用活性物种的反应即可在低温下成膜的等离子体・
※示意图原子层劣化的可视化
在纳米尺度的半导体器件中，
Members教师
- 教授近藤 博基
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Filling with hazardous reagents for the atomic layer growth process》 R Ashurov／CC BY 4.0（裁剪）
- 自由基激发原子层工艺科学：《Aomic-layer-deposition-system》 Center for Integrated Nanotechnologies - Los Alamos National Laboratory／公有领域
（裁剪） - 原子层劣化的可视化：《Three monolayer concepts relevant to atomic layer deposition》 Riikka Puurunen／CC BY 4.0（裁剪）
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