量子ビーム物質科学研究分野（古澤研）

正在显示日语原文 · 查看译文

電子線や極端紫外光が物質に起こす化学反応を解き明かす研究室。

量子束流极紫外光刻辐射化学

電子線描画装置を操作するクリーンルームの研究者 — ※示意图。非研究室实际拍摄。

About关于研究室

量子ビームが物質に起こす、化学反応を探る。

量子ビーム物質科学研究分野（古澤研究室）は、電子線や極端紫外光などの量子ビームが物質に引き起こす化学反応と反応場を研究しています。
半導体製造の極端紫外光リソグラフィのように、電離放射線領域にある量子ビームの利用は今後大きく展開すると予想されています。
この研究室は、量子ビームによるエネルギーの付与から化学反応を経て機能が現れるまでの仕組みを解明し、次世代の高性能半導体の製造を可能にする新しい化学反応システムの構築を目指しています。
研究室のサイトでは「古澤研究室」の名前で紹介されています。