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量子束物质科学研究室(古澤研究室)
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阐明电子束与极紫外光在物质中引发的化学反应的研究室。

About关于研究室
探究量子束在物质中引发的化学反应。
量子束物质科学研究室
以半导体
该研究室阐明从量子束赋予能量、
研究室的网站上以“
术语说明
- 量子束
- 在该研究室中,
指电子束、 极紫外光、 激光、 同步辐射光、 X射线、 伽马射线、 离子束。 - 极紫外光
- 处于电离辐射区域、
波长较短的光。 也称为EUV, 用于半导体 制造的光刻。 - 光刻
- 制作半导体电路超微细图案的加工技术。
- 超临界状态
- 水在374℃以上、
22.1MPa以上 时出现的状态, 其密度会随压 力而大幅变化。
Research研究课题
研究电子束、
※示意图半导体的微细加工与量子束
在半导体的超微细加工技术——光刻中,
※示意图凝聚相的极紫外光化学
极紫外光区域的辐射化学是尚未开拓的领域,
※示意图极限状态下的束诱导反应
阐明处于高温高压、
※示意图纳米粒子・胶体的辐射化学
纳米粒子和胶
Members教师
古澤研究室的成员由教师、
- 教授古澤 孝弘
- 副教授室屋 裕佐
- 助理教授岡本 一将
- 助理教授金 羽晴
- 特任教授井谷 俊郎
- 特任副教授Julius Joseph Sudlay Santillan
- 特任副教授野村 英一
- 特任助理教授伊藤 裕子
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生,
学长学姐的评价
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关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图,
- 顶部图片:《JEOL Electron Beam Lithography (EBL) ( )》 Simon Fraser University - Communications & Marketing/CC BY 2.0(裁剪)
- 半导体的微细加工与量子束:《Extreme ultraviolet lithography tool》 Lawrence Livermore National Laboratory/公有领域
(裁剪) - 凝聚相的极紫外光化学:《Continuous Electron Beam Accelerator Facility CEBAF Thomas Jefferson National Accelerator Facility Newport News Virgina ( )》 doe-oakridge/公有领域
(裁剪) - 极限状态下的束诱导反应:《Reactor model at the Gösgen Nuclear Power Plant visitor centre, Däniken, Solothurn》 Christian David/CC BY-SA 4.0(裁剪)
- 纳米粒子・胶体的辐射化学:《Gold Colloid of varying size》 Kumarbarc/CC BY-SA 4.0(裁剪)
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(金属有機融合材料研究分野 (坂本研)) :《Array of solar panels - geograph.org.uk - 8004553》 Alan Hughes/CC BY-SA 2.0(裁剪) - 相关研究室
(先端ハード材料研究分野 (関野研)) :《Functional ceramic》 Giovanna Canu, CNR-ICMATE Giovanna 27/CC BY 4.0(裁剪)
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