超精密加工領域

About研究室について

原子スケールの表面創成で、科学の進歩を支える。

超精密加工領域（佐野研究室）は、原子スケールの精度で表面をつくる加工法と、それを使ったX線の装置を研究しています。
プラズマ中の活性分子や溶液中の活性ナノ粒子を使い、誤差0.5ナノメートルの精度で形をつくり、X線ミラーや半導体基板の表面を仕上げる技術を確立しています。
SPring-8（理化学研究所）のオプティクスグループとの共同研究で、超高分解能の走査型X線顕微鏡やX線マイクロCTの開発を進めています。
医学や生物学、創薬科学などの分野と連携し、新しく開発したX線の機器の応用研究も始めています。

Research研究テーマ

表面をつくる方法に使える物理や化学の現象を探り、原子や分子のレベルで精密に制御して、原子スケールの表面創成法を開発しています。加工した表面の構造や性質を調べる方法も開発し、X線光学素子や半導体デバイスのプロセス、医学や生物学などとの連携へ応用を広げています。

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原子スケールの表面創成法↗

表面創成に使える現象を探し、新しい表面プロセスの創出へ展開しています。シミュレーションとウルトラクリーンルームでの実験で現象を詳しく理解し、精密な制御技術の確立を目指しています。

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大面積でのサブナノ精度の構造制御↗

10mmから1000mmスケールの表面に、サブナノメートル精度で任意の形状を作り込む技術を開発しています。原子スケールで生じる現象を精密に制御し、具体的なものづくりを目指しています。

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半導体デバイスプロセスの開発↗

大面積にわたるナノスケールの構造制御技術を使い、次世代の超薄膜SOIの形成法や、半導体デバイスの製造プロセスの研究・開発を行っています。

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X線光学素子・光学システムの開発↗

サブナノメートル精度で大面積の構造を制御する技術でX線光学素子を製作し、X線光学システムを構築しています。SPring-8（理化学研究所）のオプティクスグループとの共同研究で、超高分解能走査型X線顕微鏡やX線マイクロCTを開発しています。

Voices先輩の声

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