ナノ表面界面工学領域

About研究室について

表面科学に基づく“ものづくり”分野の先導と開拓

ナノ表面界面工学領域（有馬研究室）は、固体と液体、固体と気体の界面での相互作用を、原子・分子のレベルで理解し、制御することを研究しています。
原子の並びが見える顕微鏡や、表面のごく薄い層を調べる分光分析、量子力学にもとづくシミュレーションを使い、超精密な表面計測に取り組んでいます。
新しいエッチング現象を生かした高性能な半導体ナノ材料の創出や、新しい表面プロセスの開発も進めています。
2023年4月に開設された比較的新しい研究室で、次世代グリーンデバイスの創製など、ものづくり分野の未来への貢献を目指しています。

Research研究テーマ

固体の表面や界面を原子・分子のレベルで理解し、制御することで、生産技術の高度化を目指しています。実験と量子力学にもとづくシミュレーションを組み合わせ、高性能な半導体ナノ材料の創出や新しい表面プロセスの開発に取り組んでいます。

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Si原子層リボンの創製↗

寸法がナノメートル領域まで小さくなった物質は、大きな塊には見られない性質を示します。複数の固液界面プロセスを使い、幅と厚さをともに制御したSi原子層のリボンをつくる新手法の開発に挑んでいます。

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表面創成プロセスの原子単位の評価↗

超清浄な環境で精密に仕上げた半導体表面を、原子レベルの分解能をもつ顕微鏡で可視化します。超精密加工、ウェット洗浄、膜形成など、実用プロセスの性能を原子単位で評価できます。

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ナノカーボンとエッチング機能↗

超平坦に磨いたシリコンカーバイド表面にプラズマ処理を組み合わせ、ピット欠陥の少ない原子層厚のグラフェンを形成することに取り組んできました。最近は、ナノカーボンの腐食作用を生かした表面創成プロセスに取り組んでいます。

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機械的作用不要の深溝・孔加工↗

貴金属の触媒作用で、溶液中の半導体表面に深溝や孔をつくる手法に注目しています。溝や孔の奥底に埋め込んだ異種元素を鉛直方向の目印として、三次元ナノ構造の奥底部表面の構造評価に取り組んでいます。

Voices先輩の声

評価・クチコミは、在籍している（していた）学生個人の経験に基づくもので、研究室の公式見解ではありません。クチコミの有無や件数は、研究室の評価を表すものではありません。

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