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機能材料領域
大気圧プラズマの成膜技術を開発する研究室。

About研究室について
プラズマ成膜から、新機能デバイスへ。
機能材料領域は、
プラズマの
応用先と
研究室の
用語の説明
- 大気圧・超
高周波プラズマ - 大気圧のもとで、
超高周波の 電力を 加えて つくる プラズマ (電離した気体)。 成膜に 使う - 成膜
- 材料の
表面に、 薄い 膜を つくる こと - 薄膜トランジスタ
- 薄い
膜で つくった、 電流の 通り方を 切り 替える 電子部品
Research研究テーマ
最先端の
Members教員
- 教授大参 宏昌
- 准教授垣内 弘章
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トップと
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